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在Parylene真空涂敷設備上,鍍膜腔體與真空泵之間,需要低溫捕集器。如下圖。常見的低溫捕集器有以下3種方式:
摘要:從實驗室和工業領域,將精密冷水機的核心指標,分解為四個大類。在具體的精密恒溫解決方案里,可以按需選配,滿足用戶需求。
在高真空系統內,水氣分子是最典型的具有副作用的污染氣體,VaporCold 系統可把水氣分子凝結在超低溫表面上,快速地從真空系統中捕集和抽除水氣分子,能縮短 20% ~ 75%的抽真空的時間,縮短工作周期,提高產量和品質。
1. 冷卻水分配系統,簡稱配水系統。2. 每套配水系統可以提供5路進出水回路,5路水可以獨立實現開關操作,各配水系統相應水路的最大流量見下表,單位升/秒,可以允許多路水同時使用,總水流量最大為2.5升/秒(9噸/小時)。
液冷源,主要功能是給用戶設備提供一定流量的恒溫冷卻液,帶走用戶設備產生的熱量,并將熱量通過液冷源,排出到共用冷水系統或大氣環境中。是利用冷卻液作為循環介質的機、電、儀一體化集成設備,可實現對高熱流密度區域的熱量導出及溫度控制。