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水蒸氣捕集是Dale Meissner在20世紀70年代提出的一個概念,用來縮短抽真空的時間,降低真空度以增強真空鍍膜涂層。在抽真空系統中,既可以使用泵組從真空腔室里抽走氣體分子,也可以通過超低溫表面將水蒸氣分子冷凝捕集。
在大型真空系統里,真空獲得組件可由多種型號的真空泵組成,且一定包含帶羅茨泵的前級真空泵。不同型號和尺寸的真空泵組合多樣化,使得工作真空度和抽氣能力能夠滿足真空工藝要求。
在高真空系統內,水氣分子是最典型的具有副作用的污染氣體,VaporCold 系統可把水氣分子凝結在超低溫表面上,快速地從真空系統中捕集和抽除水氣分子,能縮短 20% ~ 75%的抽真空的時間,縮短工作周期,提高產量和品質。